很多潔凈室用戶不允許出現靜電。磁盤驅動器制造商正在努力把潔凈室內與靜電有關的問題降到零,半導體制造商、平板顯示器制造商、醫療電子產品制造商和制藥廠商都緊隨其后。本節將介紹靜電放電系列知識之二——局部電離的平衡。
對許多潔凈室來說,通用室內離子發生器只是完整的電離系統的一部分。Heymann說:“潔凈室運營商過去常常會說如果有一臺離子發生器的話,一切與ESD有關的問題都迎刃而解了,但是事實恰恰相反。與ESD技術有關的問題是只是簡單地安裝上離子發生器,并不能保證它能夠持續工作**、一星期,甚至一個月。”
現在,靈敏度閥值更低,這迫使潔凈室運營商加入通用室內電離系統,這些系統能夠把空氣的電壓從1,000伏降到100伏。在工藝設備內部和周圍關鍵區域加入額外的離子發生器,能夠把空氣的電壓降至10伏以下。工作站離子發生器,包括條型離子發生器、吹風機和壓縮氣體釋放設備就是適合在這些規定的工作區域中使用。無論離子發生器是安裝在操作面的上方,還是直接安裝在操作面上,這個把它與對靜電放電非常敏感的產品分開的距離遠遠小于與室內系統的距離,一般不到1米。
對要求非常嚴格的環境來說,電離吹風機可用來取代脈沖式直流系統,但是,這種系統的電壓來回擺動,不能調整到零伏。可是問題在于,盡管吹風機可以消除靜電,但是,它會干擾潔凈環境內的其他的元件。Steinman說:“吹風機會產生空氣紊流,還會成為污染源。我們需要在污染控制和ESD控制之間協調,保證達到要求的水平。”
為了避免吹風機的不利作用,IonSystems公司采用了單晶硅材料生產的發射器點,按照Steinman的說法,它幾乎可以達到“ISO1類標準”。