在生產中,人們常把對靜電反應敏感的電子器件稱為靜電敏感器件(Static,Sensitive Device簡稱SSD),這類電子器件主要是指超大規模集成電路,特別是金屬氧化膜半導體(MOS)器件。
1.靜電敏感器件及其分類
各種SSD能承受的靜電能力與器件的尺寸、結構和材料有關。表列出了部分SSD器件能承受而不致損壞的靜電的極限電壓值,此極限電壓值,有時稱為靜電敏感度。
2.靜電敏感器件的分類
SSD的分級方法有多種,現介紹國家**標準?電子產品防靜電放電控制大綱?的分級方法。靜電敏感度介于0~1990V的元器件為1級;介于2000~3999V的元器件為2級;介于4000~15999v的為3級;靜電敏感度為16000V或16000v以上的元器件、組件和設備被認為是非靜電敏感產品。表是按元器件類型列出的SSD的分級表。
因此,可以根據SSD的分級表,針對不同的SSD器件,采取不同的靜電防護措施。
敏感元件與傳感器行業十年回顧與展望
一、回顧
敏感元件與傳感器行業經過十年的風風雨雨,正在逐步走向成熟與壯大。主要標志是: 提高綜合實力 經過十年的發展,全行業的科研生產單位近1300家,居世界弟二位。其中:生產廠家占58.9%,科研單位占27%,高等院校占10%,其他占4.1%。擁有職工總人數約4.2萬人,固定資產總額5億多元,引進50多條生產線與專用設備,新增固定資產近3億元。 拓寬開發領域 目前,全行業研究開發領域由單一的品種擴展到有光敏、熱敏、力敏、電壓敏、磁敏、氣敏、濕敏、聲敏、射線敏、離子敏、生物敏以及各種傳感器、變送器、二次儀表等多種類、多形式,與國外研制領域相當。 通過"七五""八五"《傳感器技術研究》國家重點科技攻關,形成了近40個院校、研究所的科技攻關骨干隊伍。"七五"研究開發基型品種76個,共計取得了103項科研成果;"八五"又新增基型品種100多個。 加強基礎研究 完成基礎應用研究課題幾十項,新品試制課題200余項。其中:低壓**壓力傳感器、三維加速度傳感器、高響應過載傳感器、超小型鉑薄膜熱敏電阻器等新品,不但滿足了國防重點工程的配套需要,且均達到了國際80年代末先進水平。 擴大生產規模 十年前,敏感元件與傳感器生產廠家因設備落后,多以作坊式的手工操作為主,質與量均滿足不了需求。經過近十年的引進、消化、吸收,現已形成一定規模的生產能力,其主要產品有:NTC熱敏電阻器、PTC熱敏電阻器、ZnO壓敏電阻器;批量生產的產品有:可燃性氣體傳感器、光電二極管、應變計、差壓變送器等;小批量生產的產品有:壓力傳感器、霍爾元件、霍爾集成電路、高分子濕敏元件、稱重傳感器等。 上述表明:敏感元件與傳感器行業經過領導與同行的共同努力,已邁出了可喜的一步。國內敏感元件與傳感器產品生產能力已超過4億只,總產量約1.5億只,總產值約4億元,總銷售額3億元左右。 但是,與發達國家相比還有很大差距,主要表現在產品的質量、生產規模、市場開發、銷售等方面。我國敏感元件與傳感器的科研開發水平約落后發達國家5~10年;生產技術約落后10~15年。
二、發展目標
"九五"規劃制定的總目標是:大幅度增強我國傳感器研制和生產的綜合實力,建立敏感元件與傳感器高新技術產業,跟蹤國際上發展的前沿技術,加強預研,突破關鍵技術,使產品質量、價格達到或接近國際同類產品水平,滿足"四化"建設的需求。
以工業自動化系統、機電一體化、科學試驗儀器以及國民經濟建設中量大面廣的傳感器產品為服務方向,以國內外市場為導向,研究傳感器的共性基礎技術、中間試驗技術、生產裝備技術,以提高敏感元件與傳感器的技術水平為重點,跟蹤世界高新技術,使我國敏感元件及傳感器的研究、開發、設計、生產、測試、質量及應用水平提高到國際90年代水平。
建立以熱敏、電壓敏、磁敏為主體,相應實現力敏、光敏、氣敏、濕敏的批量生產等七大類的敏感元件與傳感器高新技術產業,擁有15億只生產能力,產量10億只。
三、發展趨勢
敏感元件與傳感器發展的總趨勢是集成化、多功能化、智能化和系統化。傳感器領域的主要技術正在現有基礎上予以延伸和提高,加速新一代傳感器的開發和產業化。待到2l世紀初,微電子技術,大規模集成電路技術、計算機技術將達到成熟期,光電子技術將進入發展的中期,超導電子等新技術將進入發展的初期,均為加速研制新一代傳感器提供了發展的條件??梢灶A期:
MEMT技術將高速發展,成為新一代微傳感器、微系統的核心技術,是2l世紀傳感器技術領域中帶有**性變化的高新技術。它不僅可以制成簡單的三維結構,而且可以做成三維運動結構與復雜的力平衡結構。采用MEMT技術形成的微傳感器和微系統,具有劃時代微小體積、低成本、高可靠等獨特的優點。例如,-個壓力成像器的微系統,含有1024個微型壓力傳感器,傳感器之間的距離為250m m,每個壓力膜片尺寸為50m m′ 50m m,整個膜片尺寸僅為10mm′ l0mm。預計,由微傳感器、微執行器以及信號和數據處理裝置總裝集成的微系統將進入商業市場。
新型敏感材料將加速開發,微電子、光電子、生物化學、信息處理等各種學科,各種新技術的互相滲透和綜合利用,可望研制出一批先進傳感器。
傳感器應用領域得到新的拓展,二次傳感器和傳感器系統的比例大幅度增長,預計2000年后,集成化、智能化傳感器與變送器將會呈現暢銷勢頭。 進入21世紀,世界傳感器市場將迅速發展。由1993年的130億美元,發展到2000年后,市場規模將達343億美元。其中,以半導體傳感器為主流的各類固態傳感器增長幅度很大,年增長率高達20%以上;微傳感器、微執行器約占總市場的40%。 2010年,我國敏感元件與傳感器的科研生產綜合實力將得到大幅度增強,傳感器的總體研究水平將達到國際21世紀初水平,與國外差距縮短為3~5年。專家認為,我國的化學傳感器、光纖傳感器、生物傳感器可望取得更快的發展。生產水平將達到國際上90年代中、末期水平。品種將達l萬種,建成具有較強綜合實力與競爭能力的敏感元件與傳感器高新技術產業。